在5G通信、數(shù)據(jù)中心、光互連網(wǎng)絡(luò)快速發(fā)展的今天，光開關(guān)作為光通信系統(tǒng)中控制光路切換、實現(xiàn)信號路由的核心器件，其性能直接影響整個通信網(wǎng)絡(luò)的穩(wěn)定性、傳輸效率和擴展能力。其中，MEMS光開關(guān)憑借低插損、小串音、高消光比、長壽命等突出優(yōu)勢，逐漸取代傳統(tǒng)機械式光開關(guān)和波導(dǎo)型光開關(guān)，成為光通信領(lǐng)域的主流選擇。而靜電驅(qū)動技術(shù)作為MEMS光開關(guān)的核心驅(qū)動方案，因其無電磁干擾、易于集成、微加工兼容性強等特點，被廣泛應(yīng)用于各類高性能光開關(guān)產(chǎn)品中。

廣西科毅光通信科技有限公司（官網(wǎng)：www.www.noblecapitaluk.com）深耕光通信器件領(lǐng)域多年，專注于光開關(guān)系列產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售，依托先進的微機電加工工藝和專業(yè)的研發(fā)團隊，成功將靜電驅(qū)動技術(shù)應(yīng)用于MEMS光開關(guān)量產(chǎn)中，產(chǎn)品涵蓋8×8、16×16、32×32、512×512等多種陣列規(guī)格，可滿足光互連網(wǎng)絡(luò)、激光掃描、數(shù)字顯像、自適應(yīng)光器件等多場景應(yīng)用需求。本文將詳細解析MEMS光開關(guān)的四大靜電驅(qū)動結(jié)構(gòu)、工作原理、性能差異及應(yīng)用場景，幫助行業(yè)用戶深入了解該技術(shù)的核心優(yōu)勢，同時為選型提供專業(yè)參考。

一、MEMS光開關(guān)與靜電驅(qū)動技術(shù)概述

1.1 MEMS光開關(guān)的核心優(yōu)勢

MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems，微電子機械系統(tǒng)）光開關(guān)的核心原理是通過靜電、磁感應(yīng)等控制力驅(qū)動微鏡進行機械轉(zhuǎn)動或移動，從而改變輸入光的傳播方向，實現(xiàn)光路的快速切換。與傳統(tǒng)光開關(guān)相比，MEMS光開關(guān)具有以下不可替代的優(yōu)勢：

1.      光學(xué)性能優(yōu)異：插損低（通常小于0.5dB）、串音小（低于-60dB）、消光比高（大于40dB），且性能不受波長、偏振、傳輸速率及調(diào)制方式的影響，適配多協(xié)議通信場景。

2.      可靠性強：微鏡結(jié)構(gòu)采用硅基材料或金屬薄膜制成，機械磨損小，使用壽命可達10億次以上，重復(fù)性誤差小于0.1μm，滿足工業(yè)級長期穩(wěn)定運行需求。

3.      易于擴展：采用微平面加工工藝，可實現(xiàn)高密度集成，輕松擴展為大規(guī)模開關(guān)陣列（目前已實現(xiàn)512×512陣列量產(chǎn)），適配數(shù)據(jù)中心、骨干網(wǎng)等大規(guī)模光路由場景。

4.      響應(yīng)速度適中：靜電驅(qū)動型MEMS光開關(guān)響應(yīng)時間通常在0.5ms-1ms之間，介于機械式（毫秒級）和波導(dǎo)型（微秒級）之間，兼顧切換速度與穩(wěn)定性。

1.2 靜電驅(qū)動成為MEMS光開關(guān)的主流方案

目前MEMS光開關(guān)的驅(qū)動方式主要分為靜電驅(qū)動和磁感應(yīng)驅(qū)動兩大類。磁感應(yīng)驅(qū)動雖能提供較大的驅(qū)動力，但存在能量損耗高、易產(chǎn)生電磁干擾、封裝難度大等問題，需額外增加屏蔽結(jié)構(gòu)，導(dǎo)致產(chǎn)品體積增大、成本上升，限制了其在高密度集成場景中的應(yīng)用。

相比之下，靜電驅(qū)動技術(shù)通過電極間的靜電力驅(qū)動微鏡運動，具有以下核心優(yōu)勢：

5.      低功耗：無需持續(xù)供電維持狀態(tài)，僅在切換過程中消耗少量電能，功耗可低至微瓦級。

6.      無電磁干擾：驅(qū)動過程中不產(chǎn)生磁場，不會對周邊光電子器件造成干擾，適配精密光通信系統(tǒng)。

7.      工藝兼容性強：與CMOS微加工工藝兼容，可實現(xiàn)批量生產(chǎn)，降低單位成本。

8.      結(jié)構(gòu)緊湊：驅(qū)動電極可與微鏡結(jié)構(gòu)一體化加工，產(chǎn)品體積小、重量輕，便于集成到光模塊或通信設(shè)備中。

正是基于以上優(yōu)勢，靜電驅(qū)動方案已成為MEMS光開關(guān)的首選技術(shù)，目前市場上90%以上的MEMS光開關(guān)產(chǎn)品均采用靜電驅(qū)動結(jié)構(gòu)。廣西科毅光通信的靜電驅(qū)動MEMS光開關(guān)系列產(chǎn)品，通過優(yōu)化驅(qū)動結(jié)構(gòu)設(shè)計和加工工藝，在驅(qū)動電壓、響應(yīng)速度、陣列規(guī)模等關(guān)鍵指標(biāo)上達到行業(yè)領(lǐng)先水平，已廣泛應(yīng)用于國內(nèi)各大運營商、數(shù)據(jù)中心及工業(yè)控制領(lǐng)域。

二、MEMS光開關(guān)的四大靜電驅(qū)動結(jié)構(gòu)詳解

根據(jù)微鏡的運動方式和驅(qū)動電極的結(jié)構(gòu)差異，靜電驅(qū)動MEMS光開關(guān)主要分為四大類：懸臂梁驅(qū)動式、扭臂驅(qū)動式、梳狀驅(qū)動式和SDA（ScratchDriveActuator）驅(qū)動式。以下將詳細解析每種結(jié)構(gòu)的工作原理、結(jié)構(gòu)特點、性能參數(shù)及應(yīng)用場景，并結(jié)合廣西科毅光通信的產(chǎn)品實踐進行說明。

2.1懸臂梁驅(qū)動式MEMS光開關(guān)

2.1.1結(jié)構(gòu)與工作原理

懸臂梁驅(qū)動式MEMS光開關(guān)的核心結(jié)構(gòu)為一根可彎曲的懸臂梁，梁的一端固定在基底上，另一端連接微鏡（或直接將梁的側(cè)壁作為反射鏡），梁的下方設(shè)置固定電極，電極表面覆蓋絕緣層以避免短路。其工作原理如下：

9.      無電壓狀態(tài)：懸臂梁因自身應(yīng)力呈自然弧形，入射光纖發(fā)出的光經(jīng)梁上的反射鏡直接反射至指定輸出口，形成穩(wěn)定光路。

10.    加電狀態(tài)：當(dāng)在懸臂梁與固定電極之間施加一定偏壓時，電極間產(chǎn)生靜電力（靜電力大小與偏壓的平方成正比，與電極間距成反比），驅(qū)動懸臂梁向下彎曲并接觸絕緣層，微鏡角度發(fā)生變化，將入射光反射至另一輸出口，實現(xiàn)光路切換。

該結(jié)構(gòu)的核心假設(shè)是：當(dāng)上下電極之間的最大距離遠小于電極長度時，電極間的電場可近似為平行平板電場，靜電力與板間距呈線性關(guān)系，便于控制。

2.1.2核心性能與產(chǎn)品應(yīng)用

懸臂梁驅(qū)動式MEMS光開關(guān)的突出優(yōu)勢的是驅(qū)動電壓低、移動范圍大。例如，廣西科毅光通信基于該結(jié)構(gòu)研發(fā)的CR-CB系列光開關(guān)，工作電壓僅需18V，微鏡最大移動距離可達400μm，可實現(xiàn)鏡面與襯底呈90°夾角，確保光路切換的徹底性，避免串音干擾。此外，該結(jié)構(gòu)的微鏡在運動過程中與襯底無直接接觸，磨損小，使用壽命長，適合高頻次切換場景。

在應(yīng)用場景方面，懸臂梁驅(qū)動式MEMS光開關(guān)適合構(gòu)建二維開關(guān)陣列，廣泛應(yīng)用于中短距離光通信系統(tǒng)、光纖傳感網(wǎng)絡(luò)、激光打印機等設(shè)備中。廣西科毅光通信的CR-CB-16×16型懸臂梁驅(qū)動光開關(guān)，插損小于0.4dB，響應(yīng)時間小于0.85ms，已批量應(yīng)用于智能樓宇的光布線系統(tǒng)和工業(yè)控制中的光纖信號路由。

 圖1 扭臂驅(qū)動靜態(tài)結(jié)構(gòu)圖

其工作原理如下：

11.    初始狀態(tài)：微鏡在扭臂的彈性作用下保持水平，入射光經(jīng)微鏡反射后沿固定光路輸出。

12.    單側(cè)加電：當(dāng)在微鏡與左側(cè)電極之間施加電壓時，電極間產(chǎn)生靜電力，驅(qū)動微鏡繞扭臂順時針旋轉(zhuǎn)一定角度（旋轉(zhuǎn)角度通常為±10°~±20°），光路隨之切換至左側(cè)輸出口。

13.    另一側(cè)加電：當(dāng)在微鏡與右側(cè)電極之間施加電壓時，微鏡繞扭臂逆時針旋轉(zhuǎn)，光路切換至右側(cè)輸出口。

14.    斷電狀態(tài)：靜電力消失，扭臂的彈性恢復(fù)力使微鏡回到水平位置，光路恢復(fù)初始狀態(tài)。

2.2.2核心性能與產(chǎn)品應(yīng)用

扭臂驅(qū)動式MEMS光開關(guān)的核心優(yōu)勢是結(jié)構(gòu)簡單、工藝成熟、驅(qū)動電壓低（可小于15V），且能實現(xiàn)雙向旋轉(zhuǎn)，適合構(gòu)建二維或三維開關(guān)陣列。該結(jié)構(gòu)的加工工藝與CMOS工藝兼容性強，批量生產(chǎn)良率高，成本優(yōu)勢明顯，是目前中低端MEMS光開關(guān)市場的主流產(chǎn)品。

在性能參數(shù)方面，扭臂驅(qū)動式光開關(guān)的響應(yīng)時間通常小于1ms，插損小于0.5dB，串音低于-55dB，可滿足大多數(shù)光通信場景的需求。其應(yīng)用場景涵蓋光通訊、激光掃描、空間光調(diào)制器、數(shù)字顯像、光縱橫接線器及自適應(yīng)光器件等，尤其適合對成本敏感、對開關(guān)速度要求中等的大規(guī)模陣列應(yīng)用。

廣西科毅光通信的CR-TB系列扭臂驅(qū)動MEMS光開關(guān)，通過優(yōu)化扭臂的材料（采用單晶硅或氮化硅）和尺寸設(shè)計，將驅(qū)動電壓降至12V，響應(yīng)時間縮短至0.7ms，陣列規(guī)模可支持從8×8到256×256，已廣泛應(yīng)用于4G/5G基站的光信號路由、數(shù)據(jù)中心的光纖互聯(lián)及高清數(shù)字顯像設(shè)備中。

2.3梳狀驅(qū)動式MEMS光開關(guān)

2.3.1結(jié)構(gòu)與工作原理

梳狀驅(qū)動式MEMS光開關(guān)的核心結(jié)構(gòu)由一組固定梳齒和一組可動梳齒組成，固定梳齒與基底相連，可動梳齒與微鏡或懸臂梁一體化設(shè)計，兩組梳齒相互交錯排列（類似梳子結(jié)構(gòu)），故得名“梳狀驅(qū)動”。其工作原理如下：

當(dāng)在固定梳齒與可動梳齒之間施加驅(qū)動電壓時，相鄰梳齒間產(chǎn)生靜電力（靜電力大小與梳齒個數(shù)、電壓平方成正比，與梳齒間距成反比）。由于梳齒呈平行排列，靜電力沿水平方向作用，驅(qū)動可動梳齒帶動微鏡水平移動（或繞軸旋轉(zhuǎn)），從而改變光路方向，實現(xiàn)開關(guān)功能。

梳狀驅(qū)動式MEMS光開關(guān)的光路切換機理如下圖所示，當(dāng)梳齒未加電時，光經(jīng)反射鏡反射至輸出2；當(dāng)梳齒加電后，可動懸臂梁帶動反射鏡水平移動，光直線通過至輸出1，完成光路切換。

2.3.2核心性能與產(chǎn)品應(yīng)用

梳狀驅(qū)動式MEMS光開關(guān)的核心優(yōu)勢是控制精度高、開關(guān)靈敏、驅(qū)動力大。由于靜電力與梳齒個數(shù)呈線性關(guān)系，通過增加梳齒數(shù)量可顯著提升驅(qū)動力，從而帶動更大尺寸的微鏡運動，適合構(gòu)建高密度二維開關(guān)陣列。此外，該結(jié)構(gòu)的響應(yīng)時間快（可達0.54ms），切換重復(fù)性好，適合對開關(guān)速度和精度要求較高的場景。

在性能參數(shù)方面，梳狀驅(qū)動式光開關(guān)的驅(qū)動電壓通常在30V左右（部分優(yōu)化設(shè)計可低至9V），插損小于0.3dB，串音低于-60dB，微鏡平動位移可達數(shù)十微米。其應(yīng)用場景主要包括高速光通信系統(tǒng)、精密激光掃描、光纖傳感網(wǎng)絡(luò)、量子通信設(shè)備等。

但該結(jié)構(gòu)也存在一定局限性：梳齒間距較小（通常為1-2μm），容易因粉塵、水汽或加工誤差導(dǎo)致短路；由于存在非線性彈性恢復(fù)力，微鏡的平動位移有限；懸空的梳齒結(jié)構(gòu)缺乏橫向穩(wěn)定性，在劇烈振動環(huán)境下性能可能受影響。

針對這些問題，廣西科毅光通信的CR-CO系列梳狀驅(qū)動MEMS光開關(guān)采用了優(yōu)化的梳齒設(shè)計：通過增加梳齒厚度提升橫向穩(wěn)定性，采用真空封裝技術(shù)避免粉塵和水汽進入，將驅(qū)動電壓降至18V，同時保持0.5ms的快速響應(yīng)，成功應(yīng)用于高速數(shù)據(jù)中心的光互連和量子通信實驗系統(tǒng)中。

圖2 梳狀驅(qū)動二維光開關(guān)機理

2.4SDA驅(qū)動式MEMS光開關(guān)

2.4.1結(jié)構(gòu)與工作原理

SDA（ScratchDriveActuator，劃痕驅(qū)動執(zhí)行器）驅(qū)動式MEMS光開關(guān)是一種基于步進運動的驅(qū)動結(jié)構(gòu)，其核心組件包括上平板（與微鏡相連）、基底電極、絕緣層和“蹲子”（上平板底部的凸起結(jié)構(gòu)）。其結(jié)構(gòu)及運動模型如下圖所示：

圖3 SDA驅(qū)動器結(jié)構(gòu)及運動模型

SDA驅(qū)動的工作過程為步進式運動，具體如下：

1.      無電壓狀態(tài)（圖3(b)）：上平板在自身彈性作用下保持水平，蹲子與絕緣層不接觸。

2.      脈沖上升沿（圖3(c)）：在上下電極之間施加矩形脈沖電壓，靜電力將上平板往下拉，但由于蹲子的支撐作用，上平板無法完全接觸絕緣層，只能發(fā)生彎曲變形，彈性勢能被儲存。

3.      脈沖下降沿（圖3(d)）：電壓消失，上平板的彈性勢能釋放，開始恢復(fù)原狀，與絕緣層的接觸面積逐漸減小，蹲子在摩擦力作用下向前滑動一段距離。

4.      下一個脈沖周期：重復(fù)上述過程，上平板在連續(xù)脈沖的控制下實現(xiàn)連續(xù)的步進式移動，通過控制脈沖個數(shù)可精確控制微鏡的位移（位移精度可達納米級）。

2.4.2核心性能與產(chǎn)品應(yīng)用

SDA驅(qū)動式MEMS光開關(guān)的核心優(yōu)勢是移動速度快（響應(yīng)時間可達0.5ms）、位移精度高（步進位移可精確控制）、可實現(xiàn)長距離移動，且適合構(gòu)建二維或三維開關(guān)陣列，尤其易于實現(xiàn)大規(guī)模陣列（如512×512及以上）。此外，該結(jié)構(gòu)的微鏡運動不受行程限制，可根據(jù)需求設(shè)計移動距離，適配復(fù)雜光路切換場景。

在性能參數(shù)方面，SDA驅(qū)動式光開關(guān)的驅(qū)動電壓通常可達80V，響應(yīng)時間小于0.5ms，位移精度可達10nm，適合對位移精度和移動距離要求極高的應(yīng)用場景，如精密光調(diào)制、自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)、大型光開關(guān)陣列等。

但SDA驅(qū)動也存在明顯缺點：結(jié)構(gòu)復(fù)雜、加工工藝繁瑣（需制作高精度蹲子和絕緣層），且上平板與絕緣層之間的靜摩擦力會影響運動穩(wěn)定性和使用壽命。

廣西科毅光通信通過優(yōu)化SDA驅(qū)動的結(jié)構(gòu)設(shè)計，采用金剛石-like碳（DLC）涂層降低摩擦系數(shù)，同時簡化加工工藝，推出的CR-SDA系列光開關(guān)將驅(qū)動電壓降至60V，使用壽命提升至10億次以上，成功實現(xiàn)256×256大規(guī)模陣列的量產(chǎn)，應(yīng)用于骨干網(wǎng)的光路由和大型數(shù)據(jù)中心的光交換系統(tǒng)。

三、四大靜電驅(qū)動MEMS光開關(guān)性能全面對比

為幫助用戶快速選型，以下將四大靜電驅(qū)動結(jié)構(gòu)的核心性能參數(shù)進行匯總對比，結(jié)合廣西科毅光通信的產(chǎn)品實測數(shù)據(jù)，為不同應(yīng)用場景提供參考：

選型建議

5.      若您的應(yīng)用場景對成本敏感、對精度要求不高，且需要二維陣列（≤64×64），推薦選擇懸臂梁驅(qū)動光開關(guān)或扭臂驅(qū)動光開關(guān)，性價比更高。

6.      若您需要高速切換（≤0.6ms）、高精度控制，且應(yīng)用環(huán)境穩(wěn)定（無劇烈振動），推薦選擇梳狀驅(qū)動光開關(guān)。

7.      若您需要大規(guī)模陣列（≥256×256）、長距離移動或納米級精度控制，推薦選擇SDA驅(qū)動光開關(guān)，適合高端光通信場景。

廣西科毅光通信可根據(jù)用戶的具體需求（陣列規(guī)模、驅(qū)動電壓、響應(yīng)時間、應(yīng)用場景等）提供定制化開發(fā)服務(wù)，從方案設(shè)計、樣品制作到批量生產(chǎn)全程跟進，確保產(chǎn)品滿足實際應(yīng)用需求。

四、MEMS光開關(guān)的應(yīng)用場景與行業(yè)趨勢

4.1核心應(yīng)用場景拓展

隨著5G、數(shù)據(jù)中心、人工智能等技術(shù)的快速發(fā)展，MEMS光開關(guān)的應(yīng)用場景不斷拓展，已從傳統(tǒng)的光通信系統(tǒng)延伸至多個新興領(lǐng)域：

8.      光通信網(wǎng)絡(luò)：包括骨干網(wǎng)、城域網(wǎng)、接入網(wǎng)的光路由切換，4G/5G基站的光信號分配，光纖到戶（FTTH）的光路管理等。廣西科毅光通信的MEMS光開關(guān)產(chǎn)品已通過中國移動、中國電信的集采認證，批量應(yīng)用于全國多個省份的通信網(wǎng)絡(luò)升級項目。

9.      數(shù)據(jù)中心：數(shù)據(jù)中心的服務(wù)器與存儲設(shè)備之間需要大量的光纖連接，MEMS光開關(guān)可實現(xiàn)光路的靈活調(diào)度和動態(tài)配置，提高網(wǎng)絡(luò)資源利用率，降低運維成本。目前，廣西科毅的512×512陣列光開關(guān)已應(yīng)用于阿里、騰訊等大型數(shù)據(jù)中心的光互連系統(tǒng)。

10.    激光掃描與數(shù)字顯像：MEMS光開關(guān)的微鏡可實現(xiàn)高速旋轉(zhuǎn)或移動，用于激光雷達、投影儀、全息顯示等設(shè)備中，提升掃描速度和成像精度。

11.    光纖傳感網(wǎng)絡(luò)：在石油、化工、電力等行業(yè)的光纖傳感系統(tǒng)中，MEMS光開關(guān)可實現(xiàn)多測點的信號切換與輪詢，提高傳感效率和系統(tǒng)穩(wěn)定性。

12.    量子通信：量子通信系統(tǒng)對光開關(guān)的插損、串音、穩(wěn)定性要求極高，梳狀驅(qū)動和SDA驅(qū)動的MEMS光開關(guān)因其優(yōu)異的光學(xué)性能，已成為量子通信設(shè)備的核心組件。

4.2行業(yè)技術(shù)發(fā)展趨勢

未來，MEMS光開關(guān)的技術(shù)發(fā)展將圍繞以下方向展開：

13.    更低驅(qū)動電壓：通過優(yōu)化電極結(jié)構(gòu)和材料選型，進一步降低驅(qū)動電壓（目標(biāo)≤10V），提高與周邊器件的兼容性。

14.    更快響應(yīng)速度：通過減小微鏡質(zhì)量、優(yōu)化驅(qū)動電路，將響應(yīng)時間縮短至0.3ms以下，適配更高速度的光通信系統(tǒng)。

15.    更大陣列規(guī)模：實現(xiàn)1024×1024及以上的超大規(guī)模陣列，滿足數(shù)據(jù)中心、骨干網(wǎng)的大規(guī)模光路由需求。

16.    更高可靠性：通過改進封裝工藝（如真空封裝、惰性氣體封裝）和材料（如碳化硅、氮化硅），提升產(chǎn)品在惡劣環(huán)境下的使用壽命和穩(wěn)定性。

17.    集成化與模塊化：將MEMS光開關(guān)與光模塊、驅(qū)動電路、控制芯片一體化集成，形成模塊化產(chǎn)品，降低系統(tǒng)集成難度。

廣西科毅光通信始終緊跟行業(yè)技術(shù)趨勢，投入大量研發(fā)資源用于MEMS光開關(guān)的技術(shù)創(chuàng)新，目前已申請相關(guān)專利20余項，在低電壓驅(qū)動、大規(guī)模陣列集成、高可靠性封裝等方面取得多項技術(shù)突破，未來將持續(xù)為客戶提供更優(yōu)質(zhì)、更具競爭力的光開關(guān)產(chǎn)品和解決方案。

五、廣西科毅光通信MEMS光開關(guān)產(chǎn)品與服務(wù)優(yōu)勢

作為國內(nèi)領(lǐng)先的光開關(guān)生產(chǎn)銷售商，廣西科毅光通信科技有限公司（官網(wǎng)：www.www.noblecapitaluk.com）憑借多年的技術(shù)積累和行業(yè)經(jīng)驗，在MEMS光開關(guān)領(lǐng)域形成了以下核心優(yōu)勢：

18.    技術(shù)實力雄厚：擁有一支由博士、碩士組成的專業(yè)研發(fā)團隊，具備從方案設(shè)計、仿真模擬、微加工到封裝測試的全流程研發(fā)能力，可快速響應(yīng)客戶的定制化需求。

19.    產(chǎn)品系列齊全：涵蓋懸臂梁驅(qū)動、扭臂驅(qū)動、梳狀驅(qū)動、SDA驅(qū)動四大系列，陣列規(guī)模從8×8到512×512，可滿足不同場景的應(yīng)用需求，產(chǎn)品通過ISO9001質(zhì)量管理體系認證和CE、RoHS等國際認證。

20.    生產(chǎn)工藝先進：采用先進的CMOS微加工工藝和真空封裝技術(shù)，擁有千級潔凈車間和全套自動化生產(chǎn)設(shè)備，批量生產(chǎn)良率可達95%以上，確保產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定。

21.    服務(wù)響應(yīng)迅速：提供7×24小時技術(shù)支持，從產(chǎn)品選型、樣品測試到售后維護全程跟進，為客戶提供專業(yè)的技術(shù)咨詢和解決方案，確保產(chǎn)品順利集成和運行。

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